FP-ND-71-9.52-2

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NEW MEGA

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■特徴
各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体
ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。
ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペース
フリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
従来のMEGA?-ONE LAの性能はそのままに、コンパクト化をはかりました。

詳細寸法は下記のリンクにてお確かめください。
↓
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