FPR-NSD-71SS2-6.35#A

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FINE series PURE 可変式2段切換バルブ

在庫品対応品となっております。
※在庫数量以上の購入をご希望の場合は、お問い合わせにてご相談ください。

■特徴
可変式2段切換バルブは、最先端の半導体プロセスチャンバー内等への、急激な流体による
パーティクルの舞い上がりを防ぐことを目的として開発しました。
小流量と大流量を切換えることにより、チャンバー内圧力の上昇をスムーズにすることが可能です。
また従来の2段切換バルブでは困難であった実使用ラインでの調整対応が可能です。

詳細寸法は下記のリンクにてお確かめください。
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